Surfscan? Series
无图案晶圆检测系统
Surfscan??无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控，能够迅速找到表面的缺陷，从而支持滨颁、翱贰惭、材料和晶圆制造。
主要应用
工艺认证、设备认证、设备监控、出厂晶圆质量控制、入厂晶圆质量控制、光阻和光刻机认证、工艺调试。
相关产物
Surfscan SP2XP:
针对≥45苍尘设计节点技术的无图案晶圆检测系统
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Surfscan SP2:
针对≥65苍尘设计节点技术的无图案晶圆检测系统
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Surfscan SP1DLS Pro:
针对≥90苍尘设计节点技术的无图案晶圆检测系统
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Surfscan SP1TBI Pro:
针对≥130苍尘设计节点技术的无图案晶圆检测系统
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