定位、距离、位移、跳动、自动对焦、归零、平台振动、介质厚度
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MicroSense? Capacitive Sensors
非接触式位置测量
MicroSense? Capacitive Sensors利用创新技术来实现高性能测量功能。MicroSense Capacitive Sensors的分辨率可低至皮米级,并可提供所有市售电容式传感器中最低的噪声性能。有多款特定于应用的电容式位置传感器可供选择,每种传感器均已针对高稳定性和线性度或是为实现快速响应的最高测量带宽进行优化。
所有 MicroSense Capacitive Sensors均具备以下功能:
- 使用精确的电气传感技术进行完全非接触式电容位置测量
- 对任意表面光洁度或材料不影响精度的导电、接地目标进行检测
- 10μm 至 4mm 的较短测量距离,具体取决于传感器尺寸
MicroSense 4800 Series
一款多功能、全方位的位置传感器,专为实现最佳线性度和稳定性而设计。
MicroSense 5800 Series
测量带宽高达 100kHz 的一款高分辨率传感器。这些传感器专为高动态应用而设计,它们甚至还可稳定测量接地不良的目标,例如气浮电主轴和电机。
MicroSense 6800 Series
一款超低噪声传感器,具有皮米级分辨率并采用最先进的设计,可提供高分辨率并扩大传感器与目标之间的距离。
MicroSense 8800 Series
一款低噪声传感器,具有亚纳米级分辨率和高达 20kHz 的测量带宽,它专为实现最佳线性度和稳定性而设计,非常适合伺服系统位置反馈和快速刀具伺服应用。
MicroSense Mini
一款适用于原始设备制造商的紧凑型、低成本纳米定位传感器,它非常适合用于压电驱动挠性平台和其他短行程纳米定位器。
MicroSense Spin Check 主轴计量系统
该系统支持测量硬盘驱动器主轴电机和其他精密旋转机构的可重复跳动和不可重复跳动。
适用于真空环境测量的 MicroSense 传感器
这些传感器为低释气传感器,适用于超洁净、高真空和超高真空应用。